Диапазон анализируемых масс                                                           1 – 100  а.е.м.

Минимально определяемое парциальное давление                            5x10^-14 торр

Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра.

Встроенные вакуумные датчики Пирани и высоковакуумный ионизационный датчик позволяют контролировать уровень вакуума от 1 атм до сверхвысокого вакуума, а также защищают анализатор остаточных газов, отключая его при высоких давлениях (10^-4 торр и выше), сохраняя нить накала от перегорания.

Анализатор остаточных газов крепится на фланце CF2.75”, диаметр зонда не превышает 32 мм, длина зонда составляет 173 мм.

С анализатором остаточных газов поставляется программное обеспечение, интуитивный интерфейс которого легко и быстро позволяет начать работу с квадрупольным масс-спектрометром компании EXTORR.